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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:CY-in-line磁控濺射系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MS
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
CY-in-line磁控濺射系統(tǒng)主要由進(jìn)樣室、濺射室、出樣室、基片傳遞機(jī)構(gòu)、抽氣及真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。此外,CY-in-line磁控濺射系統(tǒng)升級(jí)后,可達(dá)到5室結(jié)構(gòu)進(jìn)樣室、三個(gè)獨(dú)立的濺射室、出樣室;增加射頻電源,提供制備介質(zhì)膜的功能,并能實(shí)現(xiàn)連續(xù)鍍膜。
詳情介紹:

CY-in-line磁控濺射系統(tǒng)設(shè)備用途:

用于在晶體硅表面沉積金屬薄膜(Al、Ag、Ni、Cu、Ti、Pd等),并能夠?qū)崿F(xiàn)反應(yīng)濺射,可完成高、低真空下磁控濺射鍍膜工藝,具備較大尺寸和多種尺寸規(guī)格的晶體硅光伏電池薄膜的連續(xù)制備能力。

CY-in-line磁控濺射系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

CY-in-line

主濺真空室

方形真空室,尺寸? 1000×700×350mm

進(jìn)樣室

圓筒型,臥室,尺寸? 250×420mm

真空系統(tǒng)配置

分子泵與機(jī)械泵,閘板閥

極限壓力

主濺射室

≦8*10-5Pa(經(jīng)烘烤除氣后)

進(jìn)樣室

≦6.6*10-4Pa(經(jīng)烘烤除氣后)

恢復(fù)真空時(shí)間

主濺射室

40分鐘可達(dá)到6.6*10-4Pa(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)忾_始抽氣)

進(jìn)樣室

40分鐘可達(dá)到6.6*10-3Pa(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)忾_始抽氣)

磁控靶組件

矩形靶尺寸約450*45mm;靶與樣品距離80mm可調(diào)

 

基片加熱臺(tái)

基片結(jié)構(gòu)

尺寸125*125mm或156*156mm,可一次安裝4片樣品

加熱溫度

室溫~400C±2  C,可控可調(diào)

氣路系統(tǒng)

質(zhì)量流量控制器3路

設(shè)備占地面積

主機(jī)

2655 * 930mm2

電控柜

700 *700mm2(兩個(gè))

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