等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。為了提高鍍膜質(zhì)量，本臺(tái)二合一鍍膜儀采用的不銹鋼真空腔體配合精密分子泵的高真空設(shè)計(jì)，較高的真空度能夠有效的提升鍍膜純凈度和均勻度，有利于得到更好的實(shí)驗(yàn)效果。樣品臺(tái)有旋轉(zhuǎn)和加熱功能，能夠提高薄膜的附著力和成膜的均勻度。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用，非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。

小型高真空二合一鍍膜儀適用范圍：

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。

小型高真空二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：

小型高真空二合一鍍膜儀
樣品臺(tái)	尺寸	φ138mm	控溫精度	±1℃
	加熱溫度	*高500℃	轉(zhuǎn)速	1-20rpm可調(diào)
直流濺射頭	數(shù)量	2”×1
蒸發(fā)系統(tǒng)	蒸發(fā)源	鎢絲籃	*高溫度	1700℃
	熱電偶	S型熱電偶
真空腔體	腔體尺寸	φ170mm×200mm	觀察窗口	石英觀察窗 φ70
	腔體材料	不銹鋼	開(kāi)啟方式	上開(kāi)啟式
真空系統(tǒng)	產(chǎn)品型號(hào)	CY-GZK103-A	抽氣接口	KF40
	分子泵	CY-600	排氣接口	KF16
	前極泵	旋片泵	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)
	極限真空	1.0E-5Pa
	抽氣速率	分子泵：600L/S  旋片泵：1.1L/S  綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達(dá)： 1.0E-3Pa
濺射電源配置	數(shù)量	直流電源×1	Max 輸出功率	150w
其他	供電電壓	AC220V,50Hz	整機(jī)尺寸	600mm×300mm×470mm
	整機(jī)功率	1.5kw	整機(jī)重量	40kg

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